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【已投動態(tài)】御微半導(dǎo)體首臺Halo-100 掩?;迦毕輽z測產(chǎn)品成功發(fā)運

發(fā)布時間:2024.05.17 作者:彭佳利 來源: 訪問人數(shù):570

近日,我司自管基金投資企業(yè)合肥御微半導(dǎo)體技術(shù)有限公司(以下簡稱“御微半導(dǎo)體”)首臺Halo-100 掩?;迦毕輽z測產(chǎn)品成功發(fā)運,并順利交付國內(nèi)先進(jìn)掩模廠。

御微半導(dǎo)體自主研發(fā)的Halo-100設(shè)備作為御微“掩模全生命周期質(zhì)量控制”產(chǎn)品線的第二款產(chǎn)品,憑借御微多年來在掩模檢測領(lǐng)域積累的豐富經(jīng)驗和技術(shù)儲備,以高精度光學(xué)系統(tǒng)、高穩(wěn)定性運動臺系統(tǒng)以及高潔凈度環(huán)控與傳輸系統(tǒng)為基礎(chǔ),結(jié)合御微專有的算法和軟件系統(tǒng),成功實現(xiàn)了針對掩?;?blank)缺陷檢測的需求,并將掩模檢測的應(yīng)用領(lǐng)域拓展至掩模廠來料檢和掩?;鍙S全制程控制檢。 

御微半導(dǎo)體Halo-100掩?;迦毕輽z測產(chǎn)品

我司于2023年初通過合肥國正多澤產(chǎn)業(yè)投資合伙企業(yè)(有限合伙)投資該企業(yè),另外,國正公司參股基金合肥石溪產(chǎn)恒二期、長三角數(shù)字基金共同助力御微半導(dǎo)體,未來,國正公司將充分利用資源,為御微半導(dǎo)體提供持續(xù)的產(chǎn)業(yè)賦能與支持,護航企業(yè)穩(wěn)步發(fā)展,推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈快速發(fā)展。

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